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さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。【アルバック／ULVAC】
光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量 本体ユニット（TSC）： 4.9kg 拡張ユニット（ESC 1ch）： 1.3kg ○電源 AC100～240V（50/60Hz） ○消費電力 100W（5ch使用時） ○使用環境 温度：10 ～ 40°C 湿度：15 ～ 80％ RH（結露無きこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
滅菌機バリデーションに適したサーモプロセスモニター！
『E-Val Pro（イーバルプロ）』は、滅菌機バリデーションに適した サーモプロセスモニターです。 本体にメモリーが内蔵されており、スタンドアローンでもご使用いただけます。 1台当たり最大40点測定できるため、製薬会社での滅菌機バリデーション にもご活用いただけます。 【特長】 ■最大40chまで拡張可能 ■フルカラータッチディスプレイ搭載 ■8時間分のバッテリー搭載 ■ユーザーパスワードの設定可能、セキュリティ万全 ■シリアル番号付き熱電対センサー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
モデル3660EXはプロセス専用の壁取付型ＤＯ計で、本質安全防爆仕様です。
防爆エリアで使用可能な本質安全防爆仕様のプロセス酸素計。有機溶媒のＤＯ測定にも対応。測定データを4〜20ｍＡのアナログ信号を出力します。
