さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。【アルバック／ULVAC】
光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量 本体ユニット（TSC）： 4.9kg 拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源 AC100～240V（50/60Hz） ○消費電力 100W（5ch使用時） ○使用環境 温度：10 ～ 40°C 湿度：15 ～ 80％ RH（結露無きこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○広帯域対応 →測定波長は200 ～ 1000nmの広帯域に対応し、 複数の指定波長を同時に測定することも可能 ○5ch同時測定 →オプションの拡張ユニット（ESC）を追加すれば、 最大5chまで同時測定が可能 ○フィードバック制御 →測定結果より外部機器をフィードバック制御することができる ○専用ソフトウェア付属 →反応性スパッタリングやエッチングなどのプロセスに対応した 専用ソフトウェアを標準付属している ○多種の受光ユニット →受光ユニットは真空タイプと大気タイプの2種を用意していますので、 用途に応じて選択できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○反応性スパッタリングでのプロセス監視および、 MFC のフィードバック制御 ○エッチングプロセスでのエンドポイント検出 ○エッチング、CVD 装置のクリーニング状況、初期化の確認 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
