プラズマ処理効果を「色で見える化」！セラミックタイプ
プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。
プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、 お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。 このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として 『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！ 電子デバイスのエッチングやアッシングなど、 ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。 【特長】 ■高い耐熱性(400℃)を実現 ■クリーン設計でLEDやMEMSなどの工程に好適 ■基板はシリコン・サファイアの2種類をご用意 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社サクラクレパス PI事業部
- 価格：応相談
