プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。
プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、 お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。 このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として 『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！ 電子デバイスのエッチングやアッシングなど、 ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。 【特長】 ■高い耐熱性(400℃)を実現 ■クリーン設計でLEDやMEMSなどの工程に好適 ■基板はシリコン・サファイアの2種類をご用意 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
PLAZMARK(R) の特長の一つが、プラズマ密度により変色の濃淡が現れることから、 面内分布を簡単に評価できることです。これまで面内分布評価用に「シート型」を ラインアップしていましたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、 ウエハプロセスには不向きでした。 この度、ユーザーがお使いのウエハサイズと同一形状のインジケータを商品化することにより、 普段と同じハンドリングで簡単に、プラズマ処理効果の面内分布を評価することが可能となりました。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
用途／実績例
ご興味のある方には、変色確認用のチップサンプルを提供させて頂いております。 ※本製品の変色色材には金属元素が含まれております。 金属元素が不向きなプロセスではご使用頂けません。 詳しくはお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社サクラクレパスは、大阪市中央区森ノ宮に本社を置く総合文具メーカーです。 創業当初から長年培った調色技術と、描画材料・筆記具・印刷インキの配合設計・工程設計で培われた界面化学分野の総合技術がサクラクレパスのコア技術です。 熱・光などのエネルギーや、滅菌・殺菌用ガスなど特定化合物との化学反応で変色するユニークなインキも開発しています。 また、チューブ類、マーカー・サインペン容器、ボールペン容器などのプラスチック成型・精密金属加工およびインキ充填も自社工場で行っています。
