ベルヌーイチャック(ウエハ) - メーカー・企業と製品の一覧

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

• 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
• 価格：10万円 ~ 50万円

• その他半導体製造装置
• 空圧機器
• ウエハ加工/研磨装置