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濡れているソフトコンタクトレンズを搬送します。
水和工程の含水したソフトコンタクトレンズを搬送します。 「ソフトコンタクトレンズ移載装置」は、空気を噴出することによりエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果による負圧の発生によるレンズの吸引把持と圧力室式エアクション効果による正圧の発生によるレンズの離反のバランスにより把持接触力を弱めてコンタクトレンズを把持し搬送します。 全ての操作を空気流の作用により行っております。柔軟なコンタクトレンズに損傷を与えることなく搬送します
2～12インチウエハー平置き搬送用 空気で包んで優しく運びます。
ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。 搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。 本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。 【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択 ○対応インチのガイドリングを変えれば2～12インチまで使用可能 ○本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化 ○両面にパターン印刷があり、50µmの薄く取扱いの難しいウエハーに対応 ○角型など対象物に合せた特注設計品にも対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 吸引がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを引きつけます。 搬送時のズレを防止する為にエッジ部のガイドでズレを制限します。 エッジ以外は接触をしないで浮上しています。 ひとつのチャックでひとつのサイズのウェーハとなります。 引きつける力がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。 また、表裏の両面に対して非接触となるので、接触ができないウェーハに対しても有効です。
クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
