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ベローズ式回転導入機
本ベローズ式回転導入機は、 高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、 大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、 ０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。 シール部に溶接ベローズを採用していますので、 高真空の領域で使用出来ます。 また、機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、 小形、軽量になっています。 ベーキング温度ＭＡＸ１５０℃(１２０℃)に耐える設計にしております。
特殊形状対応可能！オールメタル製なので超高真空対応も可能なベローズ式回転導入機
『RFDシリーズ』は、滑らかな回転運動を提供するベローズ式回転導入機です。 伝達トルクは0.5Nm～1.6Nmで、ベーキング可能温度は300℃。 オールメタル製なので超高真空対応です。 接続フランジがICF34の「RFD-034」や、ICF70の「RFD-070」をラインアップ しております。 【特長】 ■滑らかな回転運動を提供 ■伝達トルクは0.5Nm～1.6Nm ■ベーキング可能温度は300℃ ■オールメタル製なので超高真空対応 ■特殊形状対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
