ホロカソードエッジング式スパッタ装置 - メーカー・企業と製品の一覧

ホロカソードエッジング式スパッタ装置

-ホロカソードガンとスッパッタガンをワンチャンバーに搭載

ホロカソードで強力にプレエッジング