マイクロ波イオン源 EMIS-221C
マイクロ波イオン源 EMIS-221C
ラミック放電管タイプで チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 金属汚染の少ないイオンが得られる ○完全金属シール構造により、MBE装置など 各種超高真空装置に使用可能 ○加速用高圧電源（オプション）の使用により、イオン加速が可能 （ラジカル源、プラズマ源としての使用も可能） ○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されるため 面倒な導波管接続が不要 ○シーケンサやパソコンによる外部制御が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：アリオス株式会社
- 価格：応相談
