世界最小クラスのECR電子・イオン源シリーズ TES-40など
九州計測器は日本唯一の正規代理店です。
CAMECA(旧 Polygon Physics) TESシリーズは、高安定な電子・イオンビームを実現するECR電子・イオン源です。 フィラメントレス・冷却不要のコンパクト設計により、高い安定性と低メンテナンス性を実現。 エッチング、スパッタリング、表面改質、質量分析など幅広い用途に対応します。
- 企業:九州計測器株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年09月09日~2026年10月06日
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九州計測器は日本唯一の正規代理店です。
CAMECA(旧 Polygon Physics) TESシリーズは、高安定な電子・イオンビームを実現するECR電子・イオン源です。 フィラメントレス・冷却不要のコンパクト設計により、高い安定性と低メンテナンス性を実現。 エッチング、スパッタリング、表面改質、質量分析など幅広い用途に対応します。
GC-MS分析用ヘリウムガスの調達に困っていませんか? キャリアガスの影響を受けず、高感度分析を実現します
『APGC(大気圧ガスクロマトグラフィー)』は、優れたイオン化効率と 高い感度を備えたソフトイオン化技術です。 真空状態を解除することなく、迅速かつ簡単にMSのインレットシステムを LCからGCへ切り替えることが可能。 真空の制限がないため、より広範囲のGCカラムとキャリアガス流量が 使用可能になり、GCの機能性を最大化することができます。 【特長】 ■ キャリアガスの影響を受けないAPGCイオン源 ■ フラグメンテーションによる感度低下を回避 ■ イオン焼けせず、長期間安定稼働 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し、差圧によりフラックスを引き出しています。
放電部、引き出し部は高純度PBNで製作しており、活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることができます。特に窒素ラジカル源として、多くの実績を有しています。
プラズマ応用装置の開発と製造販売なら当社にお任せください!
ノベリオンシステムズ株式会社は、核融合プラズマ加熱装置用の大電流負 イオン源技術を起源とする、技術開発型ベンチャー企業です。 新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できるECR (電子サイクロトロン共鳴)高密度プラズマ源およびECR大電流イオン ビーム源の開発を行っております。 各種プラズマ応用装置をお考えのお客様は、是非当社をご用命ください。 【事業内容】 ■プラズマ応用装置の開発と製造販売 ■特殊成膜プロセスの加工受託 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
MEMS加工装置用イオン源に!ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です
当製品は、大面積イオンビームによる高速ミリング処理に 適用できる大型イオン源です。 耐熱/低スパッタ率電極材料の採用により、低エネルギー アンペア級イオンビームを発生。 ご要望に合わせオーダーメイドいたします。 【特長】 ■荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化 ■耐熱/低スパッタ率電極材料を採用 ■低エネルギーアンペア級イオンビームを発生 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ビームエネルギー100~2,000eV!独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム
『ELBS-150』は、反応性イオンビームミリング装置に適用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です。 新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動。 磁気ヘッドのミリング加工や高周波回路のトリミング調整などに応用できます。 【特長】 ■独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム ■新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動 ■メタルコンタミフリーの誘電体ライニング ■新開発の長寿命ビーム電極 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微量サンプルの長時間スプレイが可能!2つの分析モードが有るロボットイオン源をご紹介します
『TriVersa NanoMate』は、導電性ピペットチップと、マイクロノズルを 組み合わせて、全てLC/MS分析をナノ流量で分析するロボットイオン源です。 医療やバイオテクノロジー、菌の培養などの分析応用例があります。 また、微量サンプルを長時間スプレイする事が可能な「Infusion mode」と、 MSn分析が簡単にできる「On-Line Fraction Correction mode」の2つの 分析モードが有ります。 【Infusion mode 特長】 ■ロングスプレイ(1μL当たり、10~20分間)ができる ■サンプル間のコンタミやキャリーオーバーが100%ない ■微量サンプル(10μL程度)を分析する際でも、 ボリュームを100~200μL程度まで増やす必要が無い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
さまざまな形態・状態の試料を前処理なしに迅速に分析できる新しいイオン源
日本電子株式会社 DARTは、2003年に日本電子の米国法人JEOL USA, Inc.の質量分析応用研究室で産声を上げました。DART イオン源はAccuTOF上で開発されたため、AccuTOF LC-Expressに装着することで、最高のパフォーマンスを発揮します。 さまざまな形態・状態の試料を、前処理無しで、DART イオン源にかざすだけで、高分解能マススペクトルをリアルタイムで得ることができます。 〇特長 ・アンビエント質量分析のパイオニア DART ・前処理不要の直接分析 ・AccuTOF LC-Express + DART最高のコンビネーション ・DARTの動作原理 ※詳細はお気軽にお問い合わせください。
イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します
TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着(IAD)技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。
マイクロ波イオン源 EMIS-221C
ラミック放電管タイプで チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 金属汚染の少ないイオンが得られる ○完全金属シール構造により、MBE装置など 各種超高真空装置に使用可能 ○加速用高圧電源(オプション)の使用により、イオン加速が可能 (ラジカル源、プラズマ源としての使用も可能) ○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されるため 面倒な導波管接続が不要 ○シーケンサやパソコンによる外部制御が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
微量サンプルの高感度分析を可能にするLC/MS用ロボット・イオン源です。
『TriVersa NanoMate』は、今まで難しかったnano LC/MSを、簡単に行う事ができます。 プレートに分取されたサンプルは、MSデータとリンクしている為、MS/MS分析のサンプルとしてInfusion modeで長時間スプレイすることができ、S/Nを大幅に向上させることができます。 『TriVersa NanoMate』のアップグレードキット「LESA Upgrade Kit」もご用意しております。 【特徴】 ○高感度 ○Infusion nano-Spray ○On-Line Spray & Fraction CollectionによるMSn分析が簡単 ○病理凍結切片からのLC/MS分析 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大型基板対応可能!完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整
『LBS-120HC』は、高速イオンビームミリング装置に適用できる 大電流DC放電型ラインビームイオン源です。 熱陰極を用いた大電流密度イオンビームで、最適化された 磁界設計による優れたビーム分布均一性が特長。 また、完全自動化で高速ビーム調整を可能とするように設計した 専用電源「SPS-HC2」もご用意しております。 【LBS-120HC 特長】 ■熱陰極を用いた大電流密度イオンビーム ■最適化された磁界設計による優れたビーム分布均一性 ■完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整 ■ニュートラライザ有り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
固・液・気体サンプルを前処理なく手軽に測定できます
『DCDI』は、イオン化法(特開2017-045571)を利用したイオン源です。 アルゴンガスを用いながらも、ヘリウムガスを使用したDARTイオン化法 と極めて類似したイオン化が可能です(サンプルによって異なります)。 固・液・気体サンプルを前処理なしにかざすだけで測定ができ、 手軽でフレキシブルなアンビエントイオン源としてもご活用いただけます。 【システム構成】 ■インターフェース(ニードル一体型) ■高電圧ユニット ■ガス加熱部 ■GHコントローラ ■セラミックチューブなど ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
微量サンプルの高感度分析を可能にするLC/MS用ロボット・イオン源
『TriVersa NanoMate』は、今まで難しかったnano LC/MSを、簡単に 行う事ができる装置です。 プレートに分取されたサンプルは、MSデータとリンクしている為、MS/MS 分析のサンプルとしてInfusion modeで長時間スプレイすることができ、 S/Nを大幅に向上させることができます。 『TriVersa NanoMate』のアップグレードキット「LESA Upgrade Kit」も ご用意しております。 【特長】 ■高感度 ■Infusion nano-Spray ■On-Line Spray & Fraction CollectionによるMSn分析が簡単 ■病理凍結切片からのLC/MS分析が可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。