電子イオン源 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

世界最小クラスのECR電子・イオン源シリーズ　TES-40など

九州計測器は日本唯一の正規代理店です。

CAMECA（旧 Polygon Physics）　TESシリーズは、高安定な電子・イオンビームを実現するECR電子・イオン源です。 フィラメントレス・冷却不要のコンパクト設計により、高い安定性と低メンテナンス性を実現。 エッチング、スパッタリング、表面改質、質量分析など幅広い用途に対応します。