九州計測器は日本唯一の正規代理店です。
CAMECA(旧 Polygon Physics) TESシリーズは、高安定な電子・イオンビームを実現するECR電子・イオン源です。 フィラメントレス・冷却不要のコンパクト設計により、高い安定性と低メンテナンス性を実現。 エッチング、スパッタリング、表面改質、質量分析など幅広い用途に対応します。
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基本情報
⚫︎方式:ECR(電子サイクロトロン共鳴) ⚫︎対応機種:TES-40、TES-63、TES-GO、TES-100 ⚫︎ビーム:電子ビーム / イオンビーム ⚫︎加速電圧:0.1〜30kV(機種による) ⚫︎対応ガス:H₂、He、N₂、O₂、Ar、Xe など ※対応可能なガス種・イオン種・運転条件は、機種および用途により異なります。 ⚫︎機能:パルスモード、バイポーラモード(オプション) ⚫︎特長:フィラメントレス、冷却不要、低メンテナンス ※仕様・対応機能は機種・構成により異なります。詳細はお問い合わせください。
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用途/実績例
九州計測器は、CAMECA社(旧 Polygon Physics) 電子・イオン源シリーズの国内唯一の正規代理店です。 メーカーと連携した販売・技術サポート体制により 製品選定から導入後のフォローまで対応します。 国内でCAMECA社 電子・イオン源をご検討の際は、ぜひ九州計測器へご相談ください。
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1973年創業以来、電子機器の販売や受託開発を通じて、九州のものづくり産業に貢献してきました。 アナログ回路設計の技術を強みにこれまで多くのオーダーメイドの計測システムやソフトウェアを手がけています。 現在は、培った技術を活かした自社製品の開発にも注力しています。 また、国内外メーカーの代理店として九州全域に計測機器を提供しています。 今後も計測技術を通じて、お客様の課題解決に貢献してまいります。





