ビームエネルギー100～2,000eV！独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム
『ELBS-150』は、反応性イオンビームミリング装置に適用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です。 新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動。 磁気ヘッドのミリング加工や高周波回路のトリミング調整などに応用できます。 【特長】 ■独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム ■新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動 ■メタルコンタミフリーの誘電体ライニング ■新開発の長寿命ビーム電極 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装置仕様】 ■ビームサイズ：幅150mm ■ビームエネルギー：100～2,000eV ■ビーム電流密度：最大10mA/cm2 ■接続同軸コネクタ規格：DIN 7/16 ■適合マイクロ波周波数：2.45GHz ■許容マイクロ波電力：最大500W ■冷却方式：水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【応用例】 ■MEMS構造体の高速ミリング形成 ■磁気ヘッドのミリング加工 ■高周波回路のトリミング調整 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ノベリオンシステムズ株式会社は、プラズマ応用装置の開発と製造販売、特殊成膜プロセスの加工受託を軸に事業を展開している会社です。技術開発型ベンチャー企業として、新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています。
