大型基板対応可能！完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整
『LBS-120HC』は、高速イオンビームミリング装置に適用できる 大電流DC放電型ラインビームイオン源です。 熱陰極を用いた大電流密度イオンビームで、最適化された 磁界設計による優れたビーム分布均一性が特長。 また、完全自動化で高速ビーム調整を可能とするように設計した 専用電源「SPS-HC2」もご用意しております。 【LBS-120HC 特長】 ■熱陰極を用いた大電流密度イオンビーム ■最適化された磁界設計による優れたビーム分布均一性 ■完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整 ■ニュートラライザ有り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■LBS-120HC ■SPS-HC2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【応用例】 ■MEMS構造体の高速ミリング加工 ■磁気メモリの微細ミリング加工 ■高周波素子の共鳴周波数調整 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ノベリオンシステムズ株式会社は、プラズマ応用装置の開発と製造販売、特殊成膜プロセスの加工受託を軸に事業を展開している会社です。技術開発型ベンチャー企業として、新規の技術ニーズに応えるべく、酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR（電子サイクロトロン共鳴）高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています。
