1～3 件を表示 ／ 全 3 件
対象ガスはN2、Air、O2、CO2など！N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応
当社で取り扱う、ハイグレードマスフローメータ『MODEL 3100 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等が対象！精度±1％F.S.のメタルシールマスフローメータ
当社で取り扱う、メタルシールマスフローメータ『MODEL 5410 SERIES』を ご紹介します。 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象。最大流量は10SCCM～20SLM、 精度は±1％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：0～50℃ ■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE ■電気接続：D-sub9ピン KFC standard（SEMI standard準拠） ■重量：約800g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広い流量レンジに対応！配線取合はD-sub9ピン KFC standardピン配列
当社で取り扱う、スタンダードマスフローメータ『MODEL 3760 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は10SCCM～100SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
