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対象ガスはN2、Air、O2、CO2など！N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応
当社で取り扱う、ハイグレードマスフローメータ『MODEL 3100 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等が対象！精度±1％F.S.のメタルシールマスフローメータ
当社で取り扱う、メタルシールマスフローメータ『MODEL 5410 SERIES』を ご紹介します。 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象。最大流量は10SCCM～20SLM、 精度は±1％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：0～50℃ ■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE ■電気接続：D-sub9ピン KFC standard（SEMI standard準拠） ■重量：約800g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
積算パルス出力あり！アラーム設定など、各種機能を使用できるローコストマスフローメータ
『MODEL 3810DSII SERIES』は、表示器一体型のローコストマスフロー メータです。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定など各種機能を使用可能。アナログ出力 4-20mA/1-5VDCを選択いただけます。 また、ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御もできます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±2～3％F.S. ■表示器一体型 ■アナログ出力4-20mA/1-5VDC選択可能 ■ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能！デジタルマスフローメータのご紹介
『EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES』は、表示器一体型で各種機能を 使用できるデジタルマスフローメータです。 ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能。 RS485通信機能、アナログ出力4-20mA（0-5VDC/1-5VDCに変更可能）、 積算パルス出力を有しております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2（Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替） ■最大流量：気体 10SCCM～500SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■C.F.値が0.50～1.50のガス種はお客様で追加登録可能 ■流量出力信号は表示器にて変更可能（出荷時 4-20mA） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広い流量レンジに対応！配線取合はD-sub9ピン KFC standardピン配列
当社で取り扱う、スタンダードマスフローメータ『MODEL 3760 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は10SCCM～100SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対象流体はN2、Air、H2、Heなど！精度±1％F.S.のマスフローメータをご紹介
当社で取り扱う、大流量用マスフローメータ『MODEL HFC-303 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は100～1000SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■許容周囲温度：5～45℃ ■接ガス部材質：SUS316、Ni、SUS302、FKM ■電気接続：D-sub15ピン ■重量：約1600g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
接ガス部材質はSUS316、Ni、FKM！最大流量1500SLM～15000SLMのマスフローメータ
当社で取り扱う、低圧力損失大流量用マスフローメータ『MODEL HFM-200W/LS SERIES』をご紹介します。 N2換算でF.S.15000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、精度は±3～5％F.S.となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■再現性：±0.5%F.S. ■許容周囲温度：5～45℃ ■許容周囲湿度：10～90%RH（結露なきこと） ■電気接続：D-sub15ピン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
