対象ガスはN2、Air、O2、CO2など！N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応
当社で取り扱う、ハイグレードマスフローメータ『MODEL 3100 SERIES』を ご紹介します。 N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMとなっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 1SCCM～20SLM ■精度：±1％F.S. ■微少流量に対応（N2換算でF.S.1SCCMから） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■入口最大圧：500kPa（G） ■耐圧：1MPa（G） ■許容周囲温度：0～50℃ ■電気接続：D-sub9ピン KFC standard（SEMI standard準拠） ■重量：約800g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の 微少量流域を主とした計測・制御技術を探求すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、 今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、 人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。