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ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ
『MSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で130種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。現在納期4週間。
『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、 極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
極めて小さな差圧で計測可能なマスフローメーター。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！現在納期約4週間。
『MWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。納期約4週間。
『MBシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能で持ち運び可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MBSシリーズ」、極めて小さな差圧で計測可能な「MWBシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ
『MQシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製の高圧タイプのマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 【特長】 ■最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 ■耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速応答で安定性のある圧力制御。 アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。 ±(0.30% FS) の高い圧力精度。
『Pシリーズ』は、高速応答で安定性のあるALICAT(アリキャット)社製の圧力計です。 『PC/PC3/PCD/PCRシリーズ』は、高速応答で安定性のある圧力制御が可能なALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.30% FS) の高い圧力精度 ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
