ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ
『MSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で130種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ（抜粋）】 ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失マスフローメーター／コントローラー MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応マスフローメーター／コントローラー MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様マスフローメーター／コントローラー IS-Maxシリーズ ■液体用フローメーター ／コントローラー L/LC/LCRシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCV/MCVSシリーズ ■SEMI規格対応バルブ内蔵タイプMCE／MCESシリーズ ■デュアルバルブMCD/MCRDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PC3/PCD/PCRシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■熱式流量計 小型マスフローコントローラーBASISシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■コリオリ高圧低流量高精度フローコントローラーCODAシリーズ