ハステロイオールメタルガスフィルター
全ての材質にハステロイを使用
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 高流量・高差圧下においても0.003μm以上の粒子を高い効率で除去します。10L/min程度の少流量から250L/min程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
- 企業:株式会社ピー・ジェイ
- 価格:応相談
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全ての材質にハステロイを使用
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 高流量・高差圧下においても0.003μm以上の粒子を高い効率で除去します。10L/min程度の少流量から250L/min程度の中流量まで幅広いラインナップをご用意しております。従来のメタルフィルターと比較して圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
歩留まりを大幅に向上
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 フィルター構成部材全てにSUS316Lを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス(N2)をフィルターIN側圧力0.2MPaで流したときのOUT側圧力損失は△0.05MPaで90SLMの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度0.003μmをCNCで確認、サブミクロンULSI製造で歩留まりを大幅に向上致します。
幅広い濾過精度に対応
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 定常流・脈動下において濾過精度0.1〜10μmまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりAPIMSの測定で脱ガス(水分量)1.2ppbを達成しました。継続使用により0.1ppbレベルまで可能です。
コンパクトサイズでより高流量のガスを処理
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。 全ての材質にSUS316Lを使用。高流量・高差圧下においても0.003μm以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。10L/min程度の少流量から250L/min程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。