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メタルシール(製造) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

メタルシール Product List

1~2 item / All 2 items

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【半導体業界向け】ゴムOリングからばね入りCリングへ置換HNRV

既設のボルトのサイズ・数は変更不要?半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』などお困りの方必見!

当社の『デルタベータHNRV』は元々設計締付圧力(Y)が低いデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、 ゴムOリングからの置換と性能向上、PFASフリーを実現します。 「真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい」 「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」 「ゴムOリングのPFASに悩んでいる」等、 そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付圧力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある ■PFASフリー 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。

  • unnamed (1).png
  • シール・密封
  • CVD装置
  • 電子ビーム描画装置

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メタルシール採用事例:半導体製造用化学物質キャニスター

キャニスター用金属シール。樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報!メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現

当社の「HELICOFLEX デルタシール」が化学会社のキャニスター用 シールに採用された事例をご紹介いたします。 化学会社のキャニスター用シールの仕様は、真空と正圧の両方を ヘリウムリークタイトできる信頼性と、耐久性に優れることなので、 樹脂製やエラストマー性の採用はできませんでした。 採用後は、ヘリウムリークタイトを実現し、通常よりも設計締付圧力が 低いことによりボルト荷重が下がり、スペースが限定されるキャニスター カバーのボルト数低減につながりました。 【事例概要】 ■課題 ・化学物質をヘリウムリークタイトで繰り返し輸送したい ■結果 ・ヘリウムリークタイトを実現 ・設計締付圧力が低いことによりホルト荷重が下がり、  キャニスターカバーのボルト数を低減 ・PFAS対策の一案としても ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 1.PNG
  • シール・密封
  • 化学薬品
  • その他半導体製造装置

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