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ラインスキャン膜厚計(薄膜) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ラインスキャン膜厚計の製品一覧

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【ディスプレイ向け】ラインスキャン膜厚計

ラインスキャン方式でディスプレイの膜厚を均一に測定!

ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する薄膜の均一性が重要です。特に、色ムラや輝度ムラを防ぐためには、薄膜の膜厚を正確に測定し、均一性を確保する必要があります。不均一な膜厚は、表示品質の低下につながる可能性があります。当社のラインスキャン膜厚計は、ラインスキャン方式を採用し、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定することで、膜厚の均一性を評価できます。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造における薄膜の膜厚測定 ・色ムラ、輝度ムラの改善 ・品質管理 【導入の効果】 ・膜厚の均一性評価による品質向上 ・不良品の削減 ・製造プロセスの最適化

  • 1回の測定で複数の膜構造解析データ.jpg
  • CMP研磨グセの観察が可能.jpg
  • 分光膜厚測定のパイオニアだから実現できる高精度測定.jpg
  • 膜ムラ管理が可能.jpg
  • 膜厚計
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【半導体向け】ラインスキャン膜厚計

ウェーハ基板上の薄膜を「抜け」なく全面測定!

半導体業界では、ウェーハ基板上の薄膜の正確な膜厚測定が、製品の品質管理と歩留まり向上に不可欠です。特に、微細化が進む半導体製造においては、薄膜のわずかな厚さの差異が、デバイスの性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。ラインスキャン膜厚計は、独自の分光干渉法と高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定し、課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの製造工程における膜厚測定 ・研究開発における薄膜特性評価 ・品質管理における膜厚の均一性評価 【導入の効果】 ・ウェーハの面内膜厚分布を可視化し、製造プロセスの最適化に貢献 ・不良品の早期発見による歩留まり向上 ・研究開発におけるデータ取得の効率化

  • 1回の測定で複数の膜構造解析データ.jpg
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