ランプ加熱装置×株式会社ジャステム - 企業1社の製品一覧

ランプ加熱装置（SHM-01型）

φ300mm貼り合わせウェーハを加熱用IRランプにて加熱する装置です

・手動/自動の切り替えおよび任意の温度調整が可能です。 ・加熱温度は最大500℃まで上昇します。

• 企業：株式会社ジャステム
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置