非接触リニアポジションセンサー
半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度
Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用の特殊なケーブル、読み取り機等高価な部品を使用する必要なく、また、取り付け精度を必要としない為、価格のみならず、工数も含めた大幅なコスト削減が可能です。
- 企業：Temposonics
- 価格：応相談
