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レーザー・光学検査向け。微小角度補正により光軸ズレを抑え測定精度を安定化
V-731は、高精度な位置決めと優れた動作安定性を実現するXYリニアモーターステージです。アイアンレス3相リニアモーターを採用し、摩擦やバックラッシュの影響を受けないダイレクトドライブにより、滑らかで高応答な動作を可能にします。 低速域でも安定した走行性能を維持しつつ、高速時でも振動を抑制します。さらに、クロスローラーガイドにより高剛性と高い案内精度を確保。 非接触式のインクリメンタルリニアエンコーダを搭載し、非線形性、機械的バックラッシュ、弾性変形などの影響を受けません。精密な位置決めが求められる多様なアプリケーションに最適な高性能ステージです。
実験の精度と効率を高める、HIWIN 単軸リニアモーターステージ
計量・計測・品質管理工程では、測定結果の正確性と再現性が、製品品質の信頼性を大きく左右します。特に、センサや測定ユニットを用いた計量・検査工程では、位置決めのズレや動作時の揺れが測定誤差を引き起こし、品質判定のばらつきや誤判定につながる可能性があります。その結果、再検査の増加や検査工程全体の効率低下を招く要因となります。このような工程では、高精度かつ安定した繰返し動作を実現する直線駆動機構が不可欠です。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と安定した直線動作により、計量・計測・品質管理工程における測定精度と検査の信頼性向上に貢献します。重量測定、寸法検査、品質判定など、精度が求められる各種工程において、安定した計測環境を実現します。 【活用シーン】 ・寸法・形状・位置精度を測定する検査装置 ・重量・ばらつきを確認する自動計量システム ・生産ライン内インライン計測・品質確認工程 【導入の効果】 ・計測結果のばらつきを抑え、測定精度を安定化 ・検査工程の自動化により、検査時間を短縮 ・人による測定差を低減し、品質判断の属人化を解消
高精度な計測を、短納期・低コストで実現する2軸リニアモーターステージ
精密測定業界では、高精度な計測が求められます。特に、微細な位置決めや正確な移動が不可欠であり、測定結果の信頼性を左右します。従来のステージでは、精度や速度、コストのバランスが課題となることがありました。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、これらの課題を解決し、高精度な計測を可能にします。 【活用シーン】 ・精密部品の検査 ・半導体製造装置 ・研究開発における実験 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる測定精度の向上 ・短納期での導入によるコスト削減 ・優れたコストパフォーマンス
高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化
研究開発分野の実験では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に微細構造の観察や精密加工、材料評価などの実験では、位置決め精度が測定結果や実験の再現性に大きく影響します。 V-855は、リニアモータによるダイレクトドライブと高精度リニアエンコーダを備えた高速リニアステージです。0.1 µmの最小インクリメンタルモーションと最大4,000 mm/s（4 m/s）の高速動作により、精密な位置決めと高速搬送を両立します。 さらに最大800 mmの長ストロークにより、大型試料の測定やスキャン測定など、研究開発装置における幅広い実験用途に対応します。 【活用シーン】 ・精密測定 ・微細加工 ・光学実験 ・材料試験 【導入の効果】 ・実験の再現性向上 ・測定精度の向上 ・作業効率の向上 ・実験時間の短縮
ミクロン単位の位置精度で、検査・計測を確実に。
計測・検査・センシング分野では、測定精度と検査の再現性が品質の信頼性を左右します。特に、検査ヘッドやセンサを正確に位置決めする動作が必要な工程では、位置ズレや揺れが誤差を生み、検査結果のばらつきや誤判定につながる可能性があります。高い精度と安定した繰返し動作が求められる環境では、安定した直線駆動が装置性能の鍵となります。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と滑らかな直線動作を実現し、検査・計測装置の信頼性と効率を向上させます。半導体製造や電子部品の検査など、厳しい精度要求の現場に対応し、安定した測定環境を提供します。 【活用シーン】 ・微小部品・半導体ウェーハ検査装置の位置決め ・自動寸法計測ステージの駆動部 ・センサ移動・追従ステージ ・画像・光学計測機構への組込み ・表面形状評価・幾何公差検査装置 【導入の効果】 ・ミクロン単位で安定した位置制御が可能 ・繰返し誤差を抑制し、検査ばらつきを低減 ・高速動作による測定サイクルの短縮 ・装置停止・再調整を減らし稼働率を最大化
自動車部品の検査工程を加速する、高精度2軸リニアモーターステージ
自動車業界の検査工程では、製品の品質と安全性を確保するために、高精度な位置決めと迅速な検査が求められます。特に、部品の寸法測定や外観検査においては、正確な位置決めが不可欠です。位置決めの精度が低いと、検査結果の信頼性が損なわれ、不良品の発見が遅れる可能性があります。当社のリニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速移動を実現し、検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・自動車部品の寸法測定 ・外観検査などの検査工程 ・組み立て工程における位置決め 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の早期発見 ・コスト削減
微細工程の精度を支える、半導体向け高安定リニアステージ
半導体・センサ・パッケージング分野では、微細化・高集積化の進展により、装置に求められる位置決め精度と動作の安定性は年々厳しさを増しています。特に、ダイボンディングやワイヤーボンディング、検査・測定工程においては、わずかな位置ズレや振動が、接合不良や検査誤判定の原因となり、歩留まり低下につながります。こうした工程では、高精度で再現性の高い直線動作を安定して行える駆動機構が不可欠です。HIWINの単軸リニアモーターステージは、滑らかな直線動作と高い位置決め再現性を兼ね備え、半導体・センサ製造工程における装置性能の安定化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ダイボンディング工程でのチップ位置決め ・ワイヤーボンディング前後の高精度アライメント ・センサ素子・MEMSデバイスの位置決め・検査 ・パッケージ外観検査・寸法測定装置 【導入の効果】 ・微細工程での位置ズレ・ばらつき低減 ・繰返し精度の安定による歩留まり向上 ・高速かつ安定した動作によるタクトタイム短縮 ・装置の安定稼働による再調整・手直し工数の削減
短納期・高速・高精度！実験の効率化を加速
研究機関における実験では、精密な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な調整が必要な実験や、短時間で多くのデータを取得する必要がある場合、ステージの性能が実験の成否を左右します。ボールねじ方式のステージでは、加速度や速度に限界があり、実験の効率を妨げることがあります。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な動作を実現し、実験の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・精密測定 ・自動化された実験装置 ・高速撮像 【導入の効果】 ・実験時間の短縮 ・データ取得量の増加 ・実験精度の向上
高精度な位置決めを実現し、光学アライメント作業を効率化
光学業界のアライメント作業では、レンズやミラーなどの光学部品を正確に配置することが、システムの性能を左右する重要な要素です。特に、高精度な位置決めが求められ、わずかなズレが測定結果や画像品質に大きな影響を与える可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた再現性により、光学アライメント作業の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ、ミラー、プリズムなどの位置決め ・光ファイバーのアライメント ・レーザー加工機の位置決め 【導入の効果】 ・高精度なアライメント作業の実現 ・作業時間の短縮 ・製品品質の向上
FPD検査工程の効率化に貢献する2軸リニアモーターステージ
FPD（フラットパネルディスプレイ）業界の検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な欠陥や異物を検出するためには、正確な位置制御と安定した動作が不可欠です。不正確な位置決めや遅い動作は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速動作を実現し、FPD検査工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・FPDの画質検査 ・異物検査 ・寸法測定 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の削減
短納期・高速・高精度を実現するFPD検査用リニアモーターステージ
FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 ・FPDパネルの寸法測定 ・異物・欠陥検査 ・位置決め精度の高い検査工程 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・生産性の向上 ・検査精度の向上
航空機製造の精度と効率を向上させる2軸リニアモーターステージ
航空機製造業界では、部品の精密な位置決めと高品質な組み立てが求められます。特に、航空機の安全性と性能を確保するためには、ミクロン単位の精度での位置決めが不可欠です。不正確な位置決めは、部品の損傷や組み立て不良を引き起こし、最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度リップル性能により、航空機製造におけるこれらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・航空機部品の精密加工 ・組み立て工程での位置決め ・検査工程での高精度測定 【導入の効果】 ・製造工程の精度向上 ・作業時間の短縮 ・コストパフォーマンスの向上
