ガントリ固定型ステージ（石定盤）
ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社ウイング
- 価格：応相談
