ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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企業情報
半導体関連装置の開発業務に従事して来た経験を生かし 大手企業では難しい短期間での開発業務及び CostPerformanceを展開すべく 少人数の生産技術経験者にて設立しました。 動機としては、我々の持つアイデアを生かして市場に参入し 世界に通用するJapanese production を広め 衰退気味の『物作り日本』を復活すべく、事業を起す事にしました 大企業ができないような安価で短納期に対応した 精密スライド機構の開発・供給にチャレンジしております