高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
-
納期
用途／実績例
詳細は、お問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
半導体関連装置の開発業務に従事して来た経験を生かし 大手企業では難しい短期間での開発業務及び CostPerformanceを展開すべく 少人数の生産技術経験者にて設立しました。 動機としては、我々の持つアイデアを生かして市場に参入し 世界に通用するJapanese production を広め 衰退気味の『物作り日本』を復活すべく、事業を起す事にしました 大企業ができないような安価で短納期に対応した 精密スライド機構の開発・供給にチャレンジしております
