【半導体向け】リアルナノ3次元測定機
光学式「垂直焦点」でナノスケールの「実測」を実現
半導体業界では、配線の微細化が進み、製造プロセスにおける配線の正確な検査が不可欠です。配線の断線や短絡は、製品の性能を著しく低下させるため、高精度な測定技術が求められます。当社のリアルナノ3次元測定機は、ナノレベルの表面形状を正確に測定し、配線検査における課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体配線の表面粗さ測定 ・配線の形状測定 ・異物付着の検出 【導入の効果】 ・配線検査の精度向上 ・不良品の削減 ・製品品質の向上
- 企業:アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社
- 価格:応相談