光学式「垂直焦点」でナノスケールの「実測」を実現
半導体業界では、配線の微細化が進み、製造プロセスにおける配線の正確な検査が不可欠です。配線の断線や短絡は、製品の性能を著しく低下させるため、高精度な測定技術が求められます。当社のリアルナノ3次元測定機は、ナノレベルの表面形状を正確に測定し、配線検査における課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体配線の表面粗さ測定 ・配線の形状測定 ・異物付着の検出 【導入の効果】 ・配線検査の精度向上 ・不良品の削減 ・製品品質の向上
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基本情報
【特長】 ・高速連続スキャン ・光学プロファイラー ・実測（ステッチングなし） ・サンプル簡単準備 ・ナノビア社独自の新方式「多彩色光センサー測定」 【当社の強み】 世界トップクラスの企業が導入している製品を取り扱っており、国産メーカークラスの迅速なサポートを提供しています。
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用途／実績例
◎歪み・湾曲も実測 ◎広い面積を高速で処理 ◎リフォーカスなし ◎鮮明画像 ◎サンプル前処理なし ◎どんな色でも測定可 ▶非接触測定 ▶最大垂直解像度=1nm ▶最大表面角度＝87° ▶データステッチなし ◎仕上げ粗さ ■1秒でRa測定 ■様々な素材や表面の複雑さ（3Dまたは2D） ■自動車用粗さ仕上げ基準 ◎テクスチャー/グレイン ■等方性・異方性サーフェス ■凸凹の解析 ◎表面凹凸形状 ■CADジオメトリとの直接比較 ■曲率、半径、角度 ■横方向寸法 ■ドリル刃の研究 ■切削工具研究 ◎段差高さ/厚さ ■透明な素材をそのまま測定する ■透明なフィルムとコーティングの厚みが20nmまで可能 ■20nmから25mmまでの段差 ◎容積/面積 ■差表面と容積損失 ■腐食解析 ■モチーフ・粒状性解析 ◎平坦度/反り ■平坦さ 1um～500mm (補正なし)
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企業情報
弊社では、世界トップクラスの企業が導入している製品を取り扱っております。日本の製品には見られない最先端の技術が採用され、製造や開発の現場で合理化の促進やコストダウンを可能にし、導入された企業様へ必ずメリットをもたらす製品です。また弊社では海外製品でも国産メーカークラスの迅速なサポートで対応させて頂いております。 ◎動的粘弾性測定装置 ◎応力緩和測定装置 ◎落錘式衝撃試験機 ◎多彩色光3光学プロファイラー ◎ナノ/マイクロインデンター ◎トライボメーター ◎ポリマー用水分計 ◎溶融物性材料開発機器ツインキャピラリーレオメーター ◎流動解析ソフト ◎成形解析ソフト ◎超精密フィーダー ◎質量式定量フィーダー ◎自動調整 重量式ブレンダー ◎ポリマー用除湿乾燥機 ◎カラースペクトロメーター ◎成形サイクル短縮機器 ◎ゴム測定関連機器 動的測定+加硫試験機 レオメーター カーボン分散計 ムーニー粘度計 硬さ・密度計 密度・比重計 未加硫ゴム用かさ比重計 硬度計 耐久・疲労試験機 リバウンドテスター 摩耗試験機 ◎バルブ総合メーカー
