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ルーツ真空ポンプ(ルーツ型) - 企業1社の製品一覧

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • CVD装置

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • ポンプ

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