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ルーツ真空ポンプ(ルーツ式) - 企業3社の製品一覧

製品一覧

1~15 件を表示 / 全 15 件

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ルーツ式真空ポンプ VP3-2501

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP3-1501(空冷式)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

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ルーツ式真空ポンプ VP3-1501(直結式)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP4-651

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VM4-801

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VPM13-101001(特殊)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VMP13-30B2501

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VMP14-121001(SUS)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ドライルーツ式真空ポンプ

ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ!

油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして 業界注目の的です。

  • その他ポンプ
  • 真空ポンプ

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ドライルーツ式真空ポンプ 総合カタログ 【※無料プレゼント中!】

ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ総合カタログを無料プレゼント中!

油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして業界注目の的です。 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くかカタログをご希望のお客様は「カタログ希望」と記載の上、お問い合わせください。

  • その他ポンプ
  • 真空ポンプ

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • CVD装置

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • ポンプ

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大容量ジャケットタイプ ルーツ式真空ポンプ VP3-2501

直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト

ドライ真空ポンプの問題点を解決! ジャケットタイプで大容量のルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適

  • ポンプ

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大容量ジャケットタイプ ルーツ式真空ポンプ〜VP3-2501〜

ドライ真空ポンプの問題点を解決! 大容量ジャケットタイプルーツ式真空ポンプ。廃液処理費がかからない!

【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適

  • 真空ポンプ

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ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる   機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの   大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ(Rシリーズ)もラインアップ   (宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応) ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で   圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

  • その他ポンプ
  • 真空ポンプ

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