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ルーツ真空ポンプ(四葉) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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大容量ジャケットタイプ ルーツ式真空ポンプ〜VP3-2501〜

ドライ真空ポンプの問題点を解決! 大容量ジャケットタイプルーツ式真空ポンプ。廃液処理費がかからない!

【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適

  • 真空ポンプ

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大容量ジャケットタイプ ルーツ式真空ポンプ VP3-2501

直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト

ドライ真空ポンプの問題点を解決! ジャケットタイプで大容量のルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適

  • ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP4-651

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VM4-801

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VMP14-121001(SUS)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • CVD装置

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VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で  運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能  その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能) ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能

  • ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP3-2501

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VPM13-101001(特殊)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VMP13-30B2501

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP3-1501(空冷式)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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ルーツ式真空ポンプ VP3-1501(直結式)

当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。

排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。

  • 真空ポンプ

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