ルーム位置決めステージ(搬送) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

クリーンルーム用位置決めステージ ILS：井口機工製作所

ガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。昇降式タイプもあります。

各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。 特許取得商品です。 滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。 位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。 また、可動部をホールドさせることができるSタイプもあります。