フォトレジストディスペンスポンプ PDS 『大幅な省レジスト』
再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現
【特長】 ●レジスト液の使用量を大幅に削減。 ●パーティクルが発生しにくい構造です。 ●吐出速度を1ショットで任意に変更可能。多様なコートプロセスに対応します。 ●内臓の圧力センサ（オプション）で吐出圧力をモニタリングすることで、フィルタの交換時期を管理可能。 ●高粘度用途に対応、LEDやMEMSデバイス製造プロセスに。（PDS-H115) 詳しくはPDFデータをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。
- 企業：株式会社イワキ
- 価格：応相談
