再現性±0.3%(F.S.)以下、大幅な省レジストを実現
■□■特長■□■ ■大幅な省レジスト ■多様なコートプロセスに対応 ■ダウンタイムの短縮 ■コンタミフリー ■高粘度用途に対応(PDS-H115) 詳しくはPDFデータをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。
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基本情報
PDS-105R 【概略仕様】(50/60Hz) ■吐出量:5.0mL/shot ■最高吐出速度:0.1〜4.0mL/sec ■吸込み速度:0.1〜3.0mL/sec ■最高吐出圧力:0.15MPa ■繰返し精度:±0.3%以下(F.S.) ■最高取扱い液粘度:200mPa·s PDS-H115 【概略仕様】(50/60Hz) ■吐出量:12.0mL/shot ■吐出速度:0.5〜2.0mL/sec ■吸込み速度:0.3〜2.0mL/sec ■最高吐出圧力:1.0MPa ■繰返し精度:±0.5%以下(F.S.) ■取扱い液粘度範囲:100〜10,000mPa·s
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弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。