レビュー統合型SEM - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

寸法計測・欠陥レビュー統合型SEM

フルウェーハサイズを全自動で測長・欠陥検出・観察するオールインワンシステム

VECTORは、ナノデバイスの評価に必要な寸法計測（CD-SEM）、欠陥検査、レビューの3機能を単一プラットフォームに集約した自動SEMシステムです。 過酷な環境でもブレないの超高精度サーモシールドやレーザー干渉計ステージの搭載により、振動や温度変化のある研究室環境でも、ナノオーダーでの優れた位置決め精度を維持し、数千もの画像とデータポイントを全自動で取得します。 欠陥陥検査やレシピベースの自動化ワークフローを搭載し、ユーザーの経験レベルに関わらず、安定した評価を実行できます。 1. Metrology（寸法・形状計測） ・フルウェーハサイズを全自動で測長・観察 ・ウェーハ上のパターニング傾向観察や許容仕様の評価に有効 2. SEM Review（欠陥レビュー） ・ウェハ全面のKLARFナビゲーション ・高コントラストな欠陥の再検出および・観察 3. SEM inspection（SEM検査） ・欠陥検出による重要箇所検査 ・AIベースの自動欠陥検出・分類