フルウェーハサイズを全自動で測長・欠陥検出・観察するオールインワンシステム
VECTORは、ナノデバイスの評価に必要な寸法計測（CD-SEM）、欠陥検査、レビューの3機能を単一プラットフォームに集約した自動SEMシステムです。 過酷な環境でもブレないの超高精度サーモシールドやレーザー干渉計ステージの搭載により、振動や温度変化のある研究室環境でも、ナノオーダーでの優れた位置決め精度を維持し、数千もの画像とデータポイントを全自動で取得します。 欠陥陥検査やレシピベースの自動化ワークフローを搭載し、ユーザーの経験レベルに関わらず、安定した評価を実行できます。 1. Metrology（寸法・形状計測） ・フルウェーハサイズを全自動で測長・観察 ・ウェーハ上のパターニング傾向観察や許容仕様の評価に有効 2. SEM Review（欠陥レビュー） ・ウェハ全面のKLARFナビゲーション ・高コントラストな欠陥の再検出および・観察 3. SEM inspection（SEM検査） ・欠陥検出による重要箇所検査 ・AIベースの自動欠陥検出・分類
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基本情報
・全自動観察・測長 ・AIベースの自動欠陥検出・分類 ・CPI検査やKLARFナビゲーション（機能）による欠陥レビュー機能 ・Raith社 EB描画装置 EBPGシリーズとの連携が可能。描画パラメーター（パターン、ドーズ量等）と、CD-SEM測定データと即座に紐付け。 ・高速なイメージングによってプロトタイピングに最適 (約5時間で3,000イメージの撮像)
価格帯
納期
用途／実績例
■フルウェーハの全自動測長・欠陥検査・観察 ・DOE条件に対するCDマッピング（プロセスウィンドウ） ・CAD設計上のギャップ幅とCD測定結果の比較 ・CDU（寸法均一性）および LER（ラインエッジラフネス）評価 ・SEM自動撮影および欠陥検出・分類
詳細情報
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フルウェーハレベルでのCD分布及び傾向観察
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測長・欠陥検査結果の可視化
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| VECTOR |
カタログ（1）
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企業情報
伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア
