真空計測機器 マイクロハクマク圧力センサ
『世界初』真空環境内の圧力をダイナミックに測定できる真空計です。複数設置で真空環境内の圧力分布測定も実現できます。
真空技術は多くの産業で必要とされ、様々な生産設備が用いられています。それらの生産設備内の環境は、大気圧から10-5Paまで大きく異なり、また大半の生産設備は連続した複数の異なる加工環境工程で構成されています。そのため、製品の品質、生産性に影響をおよぼす設備内の環境で、それぞれのプロセス・製品近傍の圧力分布、ガスの流れを動特性（ダイナミック）に計測・把握することは非常に重要です。しかし、現状は真空計の大きさ等の制約から、本来、測定したいポイントでは測定できず、装置の外壁近傍にしか設置できないため「間接的」な測定となり、設備環境はシミュレーション等の結果から求められています。マイクロハクマク圧力センサであれば、超小型・堅牢であることから、設備環境内へ設置でき、今まで測定できなかったところで測定が可能となり、見えなかったところが可視化できます。最適な設備環境への改善・監視に結びつき、製品の高品質化、歩留まりの向上を通して低炭素化（環境負荷の低減）が達成できます。
- 企業：株式会社岡野製作所
- 価格：応相談
