『世界初』真空環境内の圧力をダイナミックに測定できる真空計です。複数設置で真空環境内の圧力分布測定も実現できます。
真空技術は多くの産業で必要とされ、様々な生産設備が用いられています。それらの生産設備内の環境は、大気圧から10-5Paまで大きく異なり、また大半の生産設備は連続した複数の異なる加工環境工程で構成されています。そのため、製品の品質、生産性に影響をおよぼす設備内の環境で、それぞれのプロセス・製品近傍の圧力分布、ガスの流れを動特性（ダイナミック）に計測・把握することは非常に重要です。しかし、現状は真空計の大きさ等の制約から、本来、測定したいポイントでは測定できず、装置の外壁近傍にしか設置できないため「間接的」な測定となり、設備環境はシミュレーション等の結果から求められています。マイクロハクマク圧力センサであれば、超小型・堅牢であることから、設備環境内へ設置でき、今まで測定できなかったところで測定が可能となり、見えなかったところが可視化できます。最適な設備環境への改善・監視に結びつき、製品の高品質化、歩留まりの向上を通して低炭素化（環境負荷の低減）が達成できます。
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基本情報
マイクロハクマク圧力センサは、新開発の薄膜感応部材料、熱容量の小さい耐熱性ポリイミドフィルム基板と、薄膜部の最適設計で超小型、堅牢で、広い圧力領域をカバーできる新開発センサです。 ●真空環境内へ設置可能です。 ●複数設置で圧分布測定が可能です。 ●広領域が測定可能です。0.005Pa～大気圧 ●高速応答です。100msec ●最大32チャンネルまでシステム構築可能です。 ●耐振動・耐環境性に優れています。 ●計測ソフトウェアも提供可能です。
価格情報
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納期
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問合せください。
用途／実績例
真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。 例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置 例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例３：真空成形装置の金型近傍へ設置 例４：真空チャンバー内へ複数設置
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企業情報
私たちは創業以来、計測器メーカーとして、 真空計測や環境測定一筋に取り組んでまいりました。 この豊富な経験を活かし、技術力の追求はもとより、 お役様へのスピーディー＆モア・フレキシブルな対応こそ、 最重要な課題であると考えています。