倣いロボット自動研磨システム『REX03』
半導体製造装置部品向けロボット自動研磨装置をご紹介！
『REX03』は、力覚センサーで実際のトルクを測定し、それをロボットに ダイレクトフィードバックする「高精度倣い研磨システム」です。 作業が単調で離職率が高い、作業者によって仕上りがばらつくなど、 半導体製造装置部品メーカーにとって研磨工程はボトルネック。 当システムは、数値制御や電流ロードでは実現できない均一な研磨面を 自動化で実現しました。 【導入効果】 ■ボトルネックの解消 ■均一な品質 ■コストダウン ■従業員定着率の向上 ■短期間(約1.5年)で設備資金の償還 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：フォースウェーブ・パートナーズ株式会社
- 価格：応相談
