ロードロックスパッタ装置×株式会社シンクロン - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

ロードロックスパッタ装置 Product List

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独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering）方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる中型量産用モデルです。

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