ロードロック式スパッタ装置 RAS-1100BII
ロードロック式スパッタ装置 RAS-1100BII
独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering)方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる中型量産用モデルです。
- 企業:株式会社シンクロン
- 価格:応相談
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ロードロック式スパッタ装置 RAS-1100BII
独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering)方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる中型量産用モデルです。