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ワークベルヌーイチャック(樹脂) - 企業1社の製品一覧

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超細1.4mmx長55mmの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4mmx長さ55mmの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベルヌーイチャック

超細・長尺ワ-クを非接触吸引するため新方式: 気体垂直噴流方式(VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ-クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式(VGFS)を採用しております。  気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。

  • ウエハ加工/研磨装置
  • ウエハー
  • 分離装置

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