半導体産業工程用フィルタ 有機溶剤用金属不純物除去フィルタ
一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。
Iongard SL purifier イオン交換型有機溶剤向け金属除去 Nylonpolar Purifier Cobetterオリジナルの金属除去膜。表面修飾型ナイロン基膜を使用。酸を発生させないため、Lithography用材料に最適 Iongard Polar Purifier 極性有機溶剤に有効な金属除去 Cemdeion Purifier 表面修飾型テフロン基膜。最終洗浄液として使用されるIPAや、耐薬品性を要求する有機溶剤に対して使用可能
- 企業:日本コベッタ株式会社
- 価格:応相談