丸ポーラスチャック - 企業1社の製品一覧

丸型ポーラスチャック

丸型ポーラスチャック

全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。 ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納 までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。

• 企業：株式会社吉岡精工
• 価格：応相談

• 検査治具
• 加工治具
• チャック