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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です。 メッシュ粒径はグレード＃100、＃220、＃400から選択可能です。 ワーク吸着面に導電性テフロンコーティング処理も可能です。
机の上などで気軽にワークを固定できます
従来のポーラスチャックは本体と真空発生装置、コンプレッサーが必要で実験や検査等で手軽にデスクの上でワークを吸着固定してみるということがなかなか出来ませんでした。 そこで吉岡精工では真空発生装置を内蔵したポーラスチャックを開発いたしました。 これを用いれば本体とコンプレッサーのみでワークの吸着固定が出来るようになり、狭いデスクの上でも場所を取らずに実験や検査を手軽に行うことが出来るようになります。大きさ、形状、ポーラスの番手などはお客様の仕様にあわせて変更可能ですので当社までお問い合わせください。 【特徴】 ・真空装置内臓のため、コンプレッサーひとつで吸着・吹き上げが可能 ・机の上などで気軽にワークを固定できます
メタルポーラス使用 ポーラスチャック
耐久性のあるメタルポーラスです。 ポーラス(多孔質体)にメインテナンスしやすく、耐久性のあるメタルポーラスを使用したポーラスチャックです。
吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！
吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。
材料を創設し、いつの日かを創造する
平面平滑性および特殊製造手法により優れた吸着特性と高耐久性でウエハーや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性を提供いたします。 ポーラス体は、ユーザーニーズにあわせた材料および気孔径サイズの選択自由度をもっています。
ネジ締結型ポーラスチャック
従来ポーラスチャックはボディにポーラスを接着剤で貼り付けていますが、当社では接着剤の影響による膨張・伸縮の少なく、水・気温・湿度といった外部環境の変化に対して精度変位の少ないポーラスチャックを開発いたしました。 外部環境の厳しい条件下で精度を求められる使い方をされるお客様に最適なポーラスチャックとなっています。 【特徴】 ・接着剤の影響による膨張・収縮が少ない ・ネジで締結しているため、外部環境の変化に対する精度変位が小さい
丸型ポーラスチャック
全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。 ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納 までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
マルチポーラスチャック
一台のポーラスチャックでポーラス部分が複数に分割されているポーラスチャックです。 ポーラス部分を複数に分割したポーラスチャック
１２インチポーラスチャック
300mmウェハー対応の大口径ポーラスチャックです。 現在さらに大口径の16インチポーラスチャックの試作も完了し、次世代大口径ウェハーへの対応も行っています。
500×500mmの大型ワークもソフトにチャックできるポーラスチャック！透過光式AOI(自動外観検査)可！
『透過光照明組み込み型 PE ポーラスチャック』は、 軟質のポリエチレン製ポーラス材を用いて、FPC、ウエハ、LF、ガラス基板などをソフトにチャック 組み込まれた透過光照明によりAOIを行う 【特長】 ■ポーラス材には半透明の超高分子量ポリエチレンを使用 ■セラミックや金属材料に比べ導入コストや装置重量を低減 ■ポーラス材に目詰まりが発生した際は、安価にお取替え致します ■平均空気孔径が5μm以下のポーラス材を用いた場合は、部分吸着が可能 ※詳しくは＜カタログをダウンロード＞よりPDF資料をください。
吸着面がバックライトの様に発光
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。 吸着面がバックライトの様に発光する機能を搭載し「吸着固定＋発光」が可能となります。
セラミックや金属材料製品に比べ低コストなポーラスチャック！耐摩耗性に優れている上に柔らかい為、吸着ワークにストレスを掛け難い！
当社で取り扱っている「ポーラスPE 真空チャック」について ご紹介いたします。 セラミックや金属材料製品に比べ低コストであり、ポーラス材に目詰まりが 発生時、簡単操作で予備品と交換することが可能。 また、平均空気孔径が5μm以下のポーラス材を用いた場合は、部分吸着が でき、耐摩耗性に優れている上に柔らかい為、吸着ワークにストレスを 掛け難いです。 【特長】 ■セラミックや金属材料製品に比べ低コスト ■セラミックや金属材料製品に比べ80％程度軽量 ■ポーラス材に目詰まりが発生時、簡単操作で予備品と交換できる ■平均空気孔径が5μm以下のポーラス材を用いた場合は、部分吸着が可能 ■耐摩耗性に優れている上に柔らかい為、吸着ワークにストレスを掛け難い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
