材料を創設し、いつの日かを創造する
平面平滑性および特殊製造手法により優れた吸着特性と高耐久性でウエハーや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性を提供いたします。 ポーラス体は、ユーザーニーズにあわせた材料および気孔径サイズの選択自由度をもっています。
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基本情報
【特徴】 ○ポーラスと基台が一体構造 独自の技術により、基台とポーラス体の界面は、一体構造を有しています。 これにより、非常に優れた吸着面の平面度を得ることが可能になります。 ○豊富なポーラス体ラインナップ お客様の用途に合わせて材質を選択でき、気孔径及び気孔率は、以下の範囲で制御可能です。 ・材質：アルミナ、炭化ケイ素 ・気孔径：5、10、30、70μm ・気孔率：30～60％ ○形状は自由自在 丸型でも角型でもお客様のニーズにお応えします。 通気溝パターンも任意に形成可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
・シリコンウエハの加工用 ・ガラス基板搬送用 ・フィルムシートや金属基板固定用
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企業情報
NTKセラテックはセラミックスを軸にビジネスを展開するメーカーです。 「セラミックスで創造と挑戦を楽しむ」をスローガンとして掲げ、 ユーザーお一人お一人のニーズに耳を傾け、 その問題解決に邁進し、 お役に立ちたいと考えています。 半導体・液晶製造、電子機器をはじめとする 時代の最先端分野において、 エンジニアリング・エレクトロニクスセラミックスによる トータルソリューションを追求し、 常に革新的技術／材料を開発、提供します。 当社は良き企業市民として、お客様、地域社会、当社に関わる全ての皆様に愛される企業を目指して、社会に貢献します。
