任意ポイント測定(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

顕微分光膜厚計　複雑な形状のある任意ポイントの測定

さまざまな用途のDLCコーティング厚みの測定

DLC(diamond‐like carbon)はアモルファス（非晶質）な炭素系材料です。高硬度・低摩擦係数・耐摩耗性・電気絶縁性・高バリア性・表面改質やDLCの厚み測定は断面を電子顕微鏡にて観察する破壊検査が一般的でしたが、大塚電子の光干渉式膜厚計であれば非破壊かつ高速に測定が可能です。独自の顕微鏡光学系を採用することで、形状のあるサンプルの実測定が可能になりました。