位置決めリニアアクチュエータ(自動制御) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

最大推力・600N 精密位置決めリニアアクチュエータ N-216

最大800Nの保持力と5nm分解能、ナノ位置決めに革新を

N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。