コンビナトリアル技術とは
ほぼ理想的な混合物が作成可能！直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応
コンビナトリアル技術では、1つの試料基板の上に、2元あるいは3元の 材料の組成を0％から100％まで変化させた薄膜を形成します。 移動マスクを用いて、くさび状の膜厚傾斜を持つ極薄層を交互に積み重ね、 ユニット層の厚みが0.2nm(2A)ですので、この値は原子間距離に等しく、 ほぼ理想的な混合物が作成可能。 2元あるいは3元の全ての組成が1つの試料に含まれていますので、1つの 組成傾斜試料を分析・解析することで、新機能を得るための組成最適化を 短時間で行うことができます。 【特長】 ■組成傾斜は移動マスクの機械的な動きによって形成 ■直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応 ■組成のみが試料内で変化しているので、試料の特性評価が安定で容易 ■ユニット層の厚みが0.2nmのため、ほぼ理想的な混合物が作成可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社コメット
- 価格：応相談
