ほぼ理想的な混合物が作成可能!直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応
コンビナトリアル技術では、1つの試料基板の上に、2元あるいは3元の 材料の組成を0%から100%まで変化させた薄膜を形成します。 移動マスクを用いて、くさび状の膜厚傾斜を持つ極薄層を交互に積み重ね、 ユニット層の厚みが0.2nm(2A)ですので、この値は原子間距離に等しく、 ほぼ理想的な混合物が作成可能。 2元あるいは3元の全ての組成が1つの試料に含まれていますので、1つの 組成傾斜試料を分析・解析することで、新機能を得るための組成最適化を 短時間で行うことができます。 【特長】 ■組成傾斜は移動マスクの機械的な動きによって形成 ■直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応 ■組成のみが試料内で変化しているので、試料の特性評価が安定で容易 ■ユニット層の厚みが0.2nmのため、ほぼ理想的な混合物が作成可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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当社は、国立研究開発法人・物質・材料研究機構(NIMS)発の認定ベンチャー として設立され、コンビナトリアル薄膜成膜技術を用いた 新機能性材料開発を行っています。 1つの試料基板上に全ての組成の組み合わせを持つコンビナトリアル・ ライブラリーを作成することによって、機能性材料の開発期間を 著しく短縮し、開発をHigh Troughput化します。